近日,我司一批全自動雙管立式爐順利交付客戶,此設備為真萍科技獨立研發與制作,并獲得國家專利。
立式爐是通過微電腦控制爐管內溫度,并往內充氮氣,使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間,對PI膠進行烘烤固化的設備。產品用途范圍廣泛,適用于集成電路圓片膠, BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別;集成電路圓片快速退火等。其產品特點為:
1.一體式人機操作系統,連續式自動化生產,工作效率高,節約人工成本、電能及工藝時間。
2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好。
3.優質不銹鋼材質,表面經物理及化學拋光處理,確保潔凈度。
4.自帶自清潔功能——高溫清潔。
控制系統:人機界面采用觸摸屏方式,核心控制器采用嵌入式控制器,超溫保護為獨立檢測器件,具有氧含量檢測功能,運動控制為伺服/步進控制單元,傳輸為專業晶元傳輸機器人,軟件具有溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數據記錄,圖表顯示等功能。
未來,真萍將繼續強化技術引領,以專業優勢,為行業顧客提供優質的產品解決方案和服務。
真萍科技作為專業的設備制造廠商,可根據客戶需求定制您需要的滿意產品,有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908或搜索真萍科技了解更多信息。