HMDS烤箱系統結構介紹

HMDS烤箱系統結構介紹

真萍科技HMDS烤箱整個系統是由加熱、真空系統、充氮、加藥和控制模塊等構成。
1、加熱模塊
由于工藝的整個過程都需要在 150 ℃左右的環境下進行，所以自始至終加熱系統都在工作。
本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來實現加熱，每個熱板都采用人工智能 PID 調節儀實現閉環控制，調節儀控制固態繼電器的輸出，從而實現溫度的精確穩定控制，測溫采用通用的高精度熱敏電阻 Pt100。

2、真空模塊
由機械泵、真空組件、真空測量等組成，主要作用是置換氣體和抽走剩余的 HMDS 蒸汽。

3、充氮模塊

作用是在置換過程中，用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽，從而最終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛。

主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成。

4  加藥模塊

加藥模塊的作用是在需要的時候把藥液變成蒸汽，均勻的涂布到晶片表面。

它主要由藥液瓶、接口、控制閥和噴頭組成。

5  控制模塊
控制模塊是本系統的核心模塊。它的作用是控制各個模塊的動作和時序，完成整個工藝過程。

它主要由人機界面，CPU 控制中心，控制接口，和輸出部件，報警等 5 部分組成。

*文章僅為個人觀點，不作為技術參考。