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          半導體設備

          全自動豎管爐

          全自動豎管爐是一款用于圓片PI、BCB、PBO膠的排膠固化設備。主要由Loadport、EFEM、晶圓機械手、爐體、膠質回收、氧含量檢測、降溫系統(風冷)及控制系統等部分組成。

          • 產品信息

          規格型號/規格

          數量

          備注

          Loadport

          對應8寸foup,帶Mapping功能,支持AGV/Hot;

          1

          是否充氮氣為選件功能

          EFEM

          1、外型:1390*2650*700(W*H*D)mm

          2、配置Class 100 FFU,

          3、配置 離子棒

           1

           

          晶圓機械手

          雙臂;真空吸附,帶Mapping 功能,對應晶圓翹曲度:≤2mm;晶圓材質:硅;晶圓厚度:600~750μm;晶圓重量:55g/片

          1

           

          爐體

          8寸晶圓100片,12寸晶元75片。

          1

           

          石英爐管:Φ380*t5*L1230

          1

           

          加熱組件:4溫區,3點控制,功率:30kw;均勻性:±2℃@400℃;升溫速率:5-8℃/min,400-80℃;

             最高使用溫度750℃

          1

           

          配置Class 100 FFU,

          1

           

          膠質回收

           PCW換熱器

          1

           

          氧含量

          50PPM

          1

           

          降溫系統

             900m3/h鼓風機,通過28點向加熱組件與爐管之間通氣,降溫速率≤5℃/min,400-80℃

          1

           

          控制系統

          Windows10及以上系統,配送software及系統,系統故障能及時恢復

           

          1

           

          對于設備各個動作,信號能有I/O 信號查看功能

           

           

          設備正常運轉run貨信息,溫度記錄log,設備event,alarm有查看記錄功能

           

          設備分級別管理權限,如操作權限、管理權限,等各權限

           

          支持EAP及AGV/Hot等對接功能


          上一個:暫無下一個:全自動雙腔爐
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