規格型號/規格

數量

備注

Loadport

對應8寸foup，帶Mapping功能，支持AGV/Hot；

1

是否充氮氣為選件功能

EFEM

1、外型：1390*2650*700(W*H*D)mm

2、配置Class 100 FFU，

3、配置 離子棒

 1

晶圓機械手

雙臂；真空吸附，帶Mapping 功能，對應晶圓翹曲度：≤2mm；晶圓材質：硅；晶圓厚度：600~750μm；晶圓重量：55g/片

1

爐體

8寸晶圓100片，12寸晶元75片。

1

石英爐管：Φ380*t5*L1230

1

加熱組件：4溫區，3點控制，功率：30kw；均勻性：±2℃@400℃；升溫速率：5-8℃/min，400-80℃；

   最高使用溫度750℃

1

配置Class 100 FFU，

1

膠質回收

 PCW換熱器

1

氧含量

50PPM

1

降溫系統

   900m3/h鼓風機，通過28點向加熱組件與爐管之間通氣，降溫速率≤5℃/min，400-80℃

1

控制系統

Windows10及以上系統，配送software及系統，系統故障能及時恢復

1

對于設備各個動作，信號能有I/O 信號查看功能

設備正常運轉run貨信息，溫度記錄log，設備event，alarm有查看記錄功能

設備分級別管理權限，如操作權限、管理權限，等各權限

支持EAP及AGV/Hot等對接功能