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          半導體設備

          全自動雙腔爐

          豎管爐是通過微電腦控制爐管內的溫度,并往內充氮氣,使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間對PI膠進行烘烤固化的設備。

          • 產品信息

          一、 設備概述

          豎管爐是通過微電腦控制爐管內的溫度,并往內充氮氣,使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間對PI膠進行烘烤固化的設備。

          二、 常規參數

          1. 設備外形尺寸及布局2400mm*2200mm*2950W*D*Hmm

           

          三、 技術要求

          1.1 關鍵指標

          技術指標

          指標要求

          備注

          晶圓尺寸

          12"wafer

           

          晶圓種類

          Si/glass/EMC

           

          晶圓厚度

          400~1500um

           

          晶圓翹曲度

          最大翹曲度5mm@900um厚度 EMC wafer

           

          控氧系統

          (采用氧分析儀精準控制)

          氧含量:50ppm;

           

          晶圓數量

          8寸 單管100片(總裝片數200片),1275片(總裝片數:150片)

           

          Process溫度

          200~750℃,恒溫段精度±2℃

           

          升溫速率

          1~8℃/min

           

          降溫速率

          1-7℃/min

           

          溫度均勻性

          70~300℃±5℃

          >300℃±3℃

           

          溫度記錄

          無紙全量程記錄

           

          腔內潔凈度

          Class100

           

          1.2 硬件配置

          項目

          技術指標

          指標要求

          備注

          設備配置及功能

          Load port 上料

          支撐標準12”  25slots FOUP/,兩個load port

           

          Robot

          Robot 配置single arm

           

          X/Y 位置重復性及穩定性精度±100um

           

          Fork (blade)同時兼容各種wafer type

           

          溫控&Tube

          3zone獨立控制

           

          升溫速率最大支持8℃/min

           

          氣體

          N2惰性氣體導入裝置,附流量計及調壓閥、測壓裝置

           

          配置氧含量分析儀,量程:1ppm50%vol

           

          硬件要求

          設備通訊方式

          SECS/GEM,支持hot通信協議,可與廠內系統互聯實現hot自動上下料。

          設備可實現RFID/Barcode掃描,FOUP ID讀取。

           

          Uptime

          90% ( (計算公式:(日歷時間-設備故障時間)/日歷時間*100%) Uptime is greater than 90% (calculation formula: (calendar time-equipment failure time) / calendar time * 100%)

           

          信號燈

          LED信號燈

           

          軟件功能

          操作系統

          Windows10及以上系統,配送software及系統,系統故障能及時恢復無需在額外購買license

           

          I/O 信號

          對于設備各個動作,信號能有I/O 信號查看功能

           

          設備運行log記錄功能

          設備正常運轉run貨信息,溫度記錄log,設備event,alarm有查看記錄功能

           

          權限管理

          設備分級別管理權限,如操作權限、管理權限,等各權限

           

          關鍵部件life time 管理

          對于設備關鍵零部件有使用壽命管理,具有計數功能

           

          廠務需求

          電力系統

          AC380V/三相五線,50HZ;

           

          單位面積重量

          <1.5/m2

           

          安全要求

          本質安全性要求

          設備的設計、制造、使用充分遵守SEMI S系列安全相關標準:

           

          1. 設備操作與維保說明書須滿足標準SEMI S13標準

           

          2. 設備安全標簽須滿足標準SEMI S1標準

           

          3. 半導體制造設備的安全衛生及環保標準符合SEMI S2認證

           

          操作安全

          機器內、外表面可接觸部分不能有毛刺、邊緣開刃等危害人員或工件安全隱患的存在。各高溫部件、運動部件等易造成人體傷害的部件采用必要的保護裝置和警示標簽;如安全自鎖,門蓋感應器、光幕等;高溫/加熱裝置配置兩重相互獨立的溫度報警功能(即主溫控器報警失效/故障后,第二重獨立溫度報警裝置仍能夠提供報警)。配電控制柜、控制面板等配電裝置需設定在烤箱的下部。

           

          高溫開爐門保護:當溫度超過100℃(門檻可設置),電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門;

           

          報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;

           

          超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;

           

          電機保護:電機過電流、水冷保護;

           

          表面溫升:<45℃;

           

          ESD要求

          摩擦電壓

          設備硬接地,電阻小于4歐;

          摩擦電壓:與PCB、物料接觸或靠近部位(30cm內)的磨擦電壓要求<100V

           

          接觸電阻

          采用永久防靜電材料,表面電阻與體電阻值大于等于105次方,小于109次方。

           

          設備運維要求

          設備level-1(消耗品備件)

          配送一套Level-1(消耗品備件)

           

          保養智能監控

          智能監控保養周期或者輔料更換周期,可分權限、多條件設置到期提醒或者停止使用等級

           

          工作噪音峰值

          工作噪音峰值不高于70分貝

           

          操作者權限

          分操作員日常操作維護、生產運行兩個界面

           

          技術員權限

          分工藝產品程序參數設置、設備通用參數設置、設備維護保養三個頁面

           

          管理者權限

          分設備通用高級參數設置及校準、用戶賬戶管理兩個界面,管理者權限可以修改基礎操作及技術員權限功能

           

          保養及維修工具

          1/臺機

           

          安裝架設工具

          1/臺機(如果需要配送,含扳手、水平儀等)

           

          校正工/治具

          1/臺機(如果需要配送)

           

          隨機耗材、油脂等

          提供2年內保養所用耗材、油脂1/臺機

           

          整機校準功能

          具備機器軟件、機臺自動或人工校準向導功能。 

           

           

           

          上一個:全自動豎管爐下一個:全自動四腔爐
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