全自動雙腔爐
豎管爐是通過微電腦控制爐管內的溫度,并往內充氮氣,使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間對PI膠進行烘烤固化的設備。
- 產品信息
一、 設備概述
豎管爐是通過微電腦控制爐管內的溫度,并往內充氮氣,使晶圓可以在高溫微量氧含量下的潔凈空間對PI膠進行烘烤固化的設備。
二、 常規參數
1. 設備外形尺寸及布局:2400mm*2200mm*2950(W*D*H)mm
三、 技術要求
1.1 關鍵指標
技術指標 |
指標要求 |
備注 |
晶圓尺寸 |
12"wafer |
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晶圓種類 |
Si/glass/EMC |
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晶圓厚度 |
400~1500um |
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晶圓翹曲度 |
最大翹曲度5mm(@900um厚度 EMC wafer) |
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控氧系統 (采用氧分析儀精準控制) |
氧含量:≤ 50ppm; |
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晶圓數量 |
8寸 單管100片(總裝片數200片),12寸75片(總裝片數:150片) |
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Process溫度 |
200~750℃,恒溫段精度±2℃ |
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升溫速率 |
1~8℃/min |
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降溫速率 |
1-7℃/min |
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溫度均勻性 |
70~300℃±5℃ >300℃±3℃ |
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溫度記錄 |
無紙全量程記錄 |
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腔內潔凈度 |
Class100 |
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1.2 硬件配置
項目 |
技術指標 |
指標要求 |
備注 |
設備配置及功能 |
Load port 上料 |
支撐標準12” 25slots FOUP/,兩個load port |
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Robot |
Robot 配置single arm |
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X/Y 位置重復性及穩定性精度≤±100um |
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Fork (blade)同時兼容各種wafer type |
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溫控&Tube |
3zone獨立控制 |
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升溫速率最大支持8℃/min |
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氣體 |
具N2惰性氣體導入裝置,附流量計及調壓閥、測壓裝置 |
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配置氧含量分析儀,量程:1ppm~50%vol |
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硬件要求 |
設備通訊方式 |
SECS/GEM,支持hot通信協議,可與廠內系統互聯實現hot自動上下料。 設備可實現RFID/Barcode掃描,FOUP ID讀取。 |
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Uptime |
≥90% ( (計算公式:(日歷時間-設備故障時間)/日歷時間*100%) Uptime is greater than 90% (calculation formula: (calendar time-equipment failure time) / calendar time * 100%) |
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信號燈 |
LED信號燈 |
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軟件功能 |
操作系統 |
Windows10及以上系統,配送software及系統,系統故障能及時恢復無需在額外購買license |
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I/O 信號 |
對于設備各個動作,信號能有I/O 信號查看功能 |
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設備運行log記錄功能 |
設備正常運轉run貨信息,溫度記錄log,設備event,alarm有查看記錄功能 |
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權限管理 |
設備分級別管理權限,如操作權限、管理權限,等各權限 |
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關鍵部件life time 管理 |
對于設備關鍵零部件有使用壽命管理,具有計數功能 |
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廠務需求 |
電力系統 |
AC380V/三相五線,50HZ; |
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單位面積重量 |
<1.5噸/m2 |
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安全要求 |
本質安全性要求 |
設備的設計、制造、使用充分遵守SEMI S系列安全相關標準: |
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1. 設備操作與維保說明書須滿足標準SEMI S13標準 |
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2. 設備安全標簽須滿足標準SEMI S1標準 |
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3. 半導體制造設備的安全衛生及環保標準符合SEMI S2認證 |
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操作安全 |
機器內、外表面可接觸部分不能有毛刺、邊緣開刃等危害人員或工件安全隱患的存在。各高溫部件、運動部件等易造成人體傷害的部件采用必要的保護裝置和警示標簽;如安全自鎖,門蓋感應器、光幕等;高溫/加熱裝置配置兩重相互獨立的溫度報警功能(即主溫控器報警失效/故障后,第二重獨立溫度報警裝置仍能夠提供報警)。配電控制柜、控制面板等配電裝置需設定在烤箱的下部。 |
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高溫開爐門保護:當溫度超過100℃(門檻可設置),電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門; |
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報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護; |
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超溫保護:獨立感溫式超溫保護器; |
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電機保護:電機過電流、水冷保護; |
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表面溫升:<45℃; |
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ESD要求 |
摩擦電壓 |
設備硬接地,電阻小于4歐; 摩擦電壓:與PCB、物料接觸或靠近部位(30cm內)的磨擦電壓要求<100V |
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接觸電阻 |
采用永久防靜電材料,表面電阻與體電阻值大于等于10的5次方,小于10的9次方。 |
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設備運維要求 |
設備level-1(消耗品備件) |
配送一套Level-1(消耗品備件) |
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保養智能監控 |
智能監控保養周期或者輔料更換周期,可分權限、多條件設置到期提醒或者停止使用等級 |
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工作噪音峰值 |
工作噪音峰值不高于70分貝 |
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操作者權限 |
分操作員日常操作維護、生產運行兩個界面 |
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技術員權限 |
分工藝產品程序參數設置、設備通用參數設置、設備維護保養三個頁面 |
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管理者權限 |
分設備通用高級參數設置及校準、用戶賬戶管理兩個界面,管理者權限可以修改基礎操作及技術員權限功能 |
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保養及維修工具 |
1套/臺機 |
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安裝架設工具 |
1套/臺機(如果需要配送,含扳手、水平儀等) |
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校正工/治具 |
1套/臺機(如果需要配送) |
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隨機耗材、油脂等 |
提供2年內保養所用耗材、油脂1套/臺機 |
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整機校準功能 |
具備機器軟件、機臺自動或人工校準向導功能。 |
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