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          半導體設備

          無塵潔凈烘箱

          本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及相關標準研究制造,普遍應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。

          • 產品信息

          產品型號WG系列

          產品名稱:無塵潔凈烘箱

          產品介紹:本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及相關標準研究制造,普遍應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫藥實驗室等生產及科研部門。

          技術指標

          1 無塵等級:Class100:(符合FED-STD 209E標準:0.3um3000.5100個)

          2溫度范圍:+60~ +250℃(極限溫度350℃)

          3溫度均勻性:±2℃(空箱測試)

          4溫度準確度:±1℃(空箱測試)

          5設備型號規格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;

          700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;

          1000*1300*1000;1000*1400*1000;

          箱體結構

          1烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風道部分,塵埃物過濾部分,N2 進氣排氣及風冷部分等組裝而成,結構合理,功能實用。

          2外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵,內膽材料:采進口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經堿性蘇打水清潔有效的防止了機臺本身灰塵的產生。

          3保溫材料:采用正廠中央玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費。

          4電熱部分:采用進口覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵無氧化電熱發生器

          5風道部分:整體結構采用了水平送風的方式由左向右送風后經美國進口H.E.P.A,(特殊風道設計)Class100;

           

          可靠先進的測控系統

          1溫度控制裝置:進口溫控器,內置PID自動整定,斜率設定功能

          2溫度控制方式為SSR固態繼電器功率調整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶

          3溫度監控裝置:采用六通道巡回檢測 有紙記錄儀,可將烤箱內實時環境溫度進行檢測打印。

           

          完善的控制系統,及安全防護措施

          1操作控制系統,采用精密電子儀器儀表結合電力拖動系統控制,更有效,更穩定。

          2防護措施:緊急停止,超溫保護,斷線報警,相序保護,過載保護,短路保護,漏電保護,及電磁門禁保護等。

          *技術細節變動之處,恕不另行通知,具體設備參數以咨詢結果為準。


          真萍科技作為專業的烘烤制成設備制造廠商,可根據客戶工藝需求定制您需要的滿意產品,有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908。

          上一個:無氧烤箱下一個:HMDS涂膠系統
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