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          半導體設備

          高溫無氧PI烤箱

          應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,結合國外同類產品技術和我們長期從事烤箱的工作經驗,而專門設計。

          • 產品信息

          應用領域:應用于精密電子元件、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,結合國外同類產品技術和我們長期從事烤箱的工作經驗,而專門設計。


          主要特點如下:
            1,箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節能等特點。
            2,優良的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻。
            3,吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。
           
           一、技術指標與基本配置:
            1.1 使用溫度:RT~400℃,最高溫度:450℃;

              1.2 單個爐膛有效尺寸:800×600×600mm(W×H×D);700*500*500

              1.3 爐膛腔數:2個,上下布置;

              1.4 爐膛材料:SUS321鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:


            1.5 空爐升溫時間:1.5h;

              1.6 空爐降溫時間:300℃-50℃降溫時間1.5-3.5小時(采用水冷翅片散熱器);

              1.7 溫度和氧含量記錄:進口無紙記錄儀;

           

          二、氧含量(配氧分析儀):
            2.1 高溫狀態氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;

              2.2 低溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量

              2.3 控溫穩定度:±1℃;溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);

           

          三、事件輸出:
            3.1 配置PLC,可實現多事件輸出控制氣氛、水等開關和報警;

              3.2 控制:上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護;

              3.3 控溫儀表:日本島電FP93溫控儀;

              3.4 控溫段數:4×10段;控溫點數:2點;

              3.5 超溫報警點數:2點;檢測點數:2點;

              3.6 報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;電機保護:電機過電流、水冷保護; 表面溫升:<30℃;

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