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          半導體設備

          bcb專用高溫無氧烤箱

          普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

          • 產品信息


          應用介紹:普遍應用于航空、航天、石油、化工、軍事、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO/PI/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

          主要特點:箱體選用全陶瓷纖維保溫,具有升溫快、節能等特點,優良的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻,吸風口玻纖過濾器,確保潔凈度的要求。

           

          一、技術指標與基本配置:

              1.1使用溫度:RT400℃,最高溫度:450℃;

              1.2爐膛腔數:2,上下布置;

              1.3爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶:

              1.4空爐升溫時間:1.5h;

              1.5空爐降溫時間:375--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風冷);

          1.6.溫度和氧含量記錄:進口無紙記錄儀或有紙記錄儀;

           

            二、氧含量(配氧分析儀):

                 2.1高溫狀態氧含量:≤ 10ppm +氣源氧含量;

                    低溫狀態氧含量:20ppm +氣源氧含量

                 2.2控溫穩定度:±1℃;

          溫度均勻度:±10℃(400℃平臺);

           

          三、事件輸出:

           3.1配置PLC,可實現多事件輸出控制氣氛、水等開關和報警;

                  3.2控制:上下爐腔可單獨控溫、通氣、報警保護;

                  3.3控溫儀表:進口溫控儀;

                  3.4控溫點數:2點;

                  3.5超溫報警點數:2點;檢測點數:2點;

          3.6報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;

          3.7電機保護:電機過電流、水冷保護;

          四、工藝線標準

          4.1、在常溫下以3-5/min升溫速率升溫40分鐘到200

          4.2、200℃狀態下恒溫45分鐘

          4.3、再40min升到375

          4.4、375℃恒溫1H

          4.5、最后以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75


                                                                                  圖一、整體工藝曲線



                                                                                     圖二、工藝效果




          真萍科技作為專業的烘箱設備制造廠商,可根據客戶特殊需求定制您需要的滿意產品,有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908。

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