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          半導體設備

          真空無氧烤箱

          應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。

          • 產品信息

          一、應用介紹:應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產單位,主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環境中干燥和老化試驗。
          主要特點:節省氮氣(30LPM),具有升溫快、節能等特點,獨特的送風、排風系統,確保爐箱溫度均勻,美國金屬過濾器,確保潔凈度的要求。

          二、技術指標:
          2.1長期使用溫度:400℃;(最高溫度:450℃)
          2.2控溫精度:±1℃; 

          2.3 溫度均勻度:≤2%MFS;

          2.4最大升溫速率:≤8℃/min;

          2.5降溫速率:400℃-80℃,≤2.5h;

          2.6 降溫方式:風冷;

          2.7極限真空度:≤10pa

          2.8氧含量指標:常溫下≤50ppm;高溫下≤30ppm

          2.9潔凈度:class100級


          三、加熱方式:

              3.1 加熱元件:嵌入式FEC加熱板,環形四周加熱;

              3.2 保溫材料:陶瓷纖維材料;


          四、降溫方式:

          4.1 風冷降溫;空氣放大器強制抽排;


          4.3 環境氣體吹掃爐膽外壁,加快降溫速率;


           型號
          MOLZK-32D1
          MOLZK-118D1
          MOLZK-282D1
          內尺寸(mm
          Φ270×500 (使用:180*400*180mm
          Φ535×770(使用:376*566*360mm
          W710*H710*D560
          層板數
          一層
          一層
          一層

          真萍科技作為專業的烘箱設備制造廠商,可根據客戶特殊需求定制您需要滿意的產品,有需求的客戶詳情咨詢:400-608-2908。

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